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型號：HAD0-70601

能薄膜性測試儀 薄膜性測試儀

描述：儀器由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀兩分組成。具有測量度，靈敏度，穩定性好，測量范圍寬，結構緊湊，使用方便等點。儀器適用于半導體材料廠，半導體器件廠，科研單位，等院校對半導體材料的電阻性能的測試。

  • 廠商性質

    生產廠家

  • 更新時間

    2016-09-08

  • 訪問量

    1118
詳細介紹
品牌恒奧德

能薄膜性測試儀型號:HAD0-70601  
儀器由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導率測量儀兩分組成。具有測量度，靈敏度，穩定性好，測量范圍寬，結構緊湊，使用方便等點。儀器適用于半導體材料廠，半導體器件廠，科研單位，等院校對半導體材料的電阻性能的測試。

四探針測試儀由主機，測試架等分組成。可以測量片狀，塊狀，塊狀半導體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻），能材料暗電導和光電導及溫度的變化的性，還可以對金屬導體的低，中值電阻行測量。測試探頭采用寶石導向軸套和耐磨碳化鎢探針制成，故定位準確，游移率小，壽命長。

非晶硅薄膜電導率測量儀由樣品室，溫控系統，真空系統，阻測量系統等分組成。

1. 測量范圍：電阻測量范圍：1×106 1×1017Ω；

電阻率：0.001～200Ω cm;

電導率：0.005～1000s/cm;

2. 可測晶片直徑：200mm×200mm;

3. 探針：碳化鎢或速鋼；探針間距：1± 0.01mm;

4. 針間緣電阻： ≥ 1000 MΩ； 機械游移率：≤0.3%；

5. 本底真空度： ≤10Pa,氣壓可控范圍：10～400Pa;

襯底加熱溫度：室溫度～200℃



 		 能薄膜性測試儀能薄膜性測試儀HZDH0-70601

 

 

 

2.

產品名稱：綜合校驗儀
產品型號：HS-VD3002

綜合校驗儀 型號：HS-VD3002

本儀器采用三路立LED數碼顯示系統，內置兩組立的穩定信號發生器，可同時顯示兩路輸出直模擬電壓、電信號及路測量直電、電壓信號。本儀器采用交供電、顯示清楚、穩定，既能使用于實驗室對自動化儀表行維修、校驗及計量，又能使用于現場，對儀表行安裝、調試及維修。

     本儀器能齊、顯示直觀、操作簡單、攜帶方便、適用面廣，是種理想的校驗儀器。
 二 主要標
◆  兩種輸出電壓、電信號
·OUT1:   1.000V、3.000V、5.000V      定值
           0～5.000V                    連續可調（內阻250Ω）
           mV1:  0～ 19.999mV           連續可調（內阻1Ω）
           mV2:  0～ 100.00mV           連續可調（內阻5Ω）
           mA1:  0～ 19.999mA           連續可調（RL≤ 600Ω）
           mA2:  0～ 22.00mA             連續可調（RL≤600Ω）
·OUT2 :   1V、2V、3V、4V、5V      定值 （內阻250Ω）
4.000mA、8.000mA、12.000mA、16.000mA、19.999mA  定值 （RL≤600Ω）      
◆ 輸出準確度：  ±0.05%F.S±1個字
◆ 測量電壓、電信號
     DCV:   0.2V、2V、20V、200V       四個量程
     DCA： 0～200mA
◆ 測量準確度：     ±0.05%F.S±1個字

 

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